HAMAMATSU濱松晶圓玻璃薄膜厚度測量儀C15151-01

應用：高速測量晶圓、玻璃和薄膜的厚度。（測量范圍：玻璃：1 nm 至 20 μm，硅：0.43 nm 至 8.6 μm）

Optical NanoGauge 膜厚測量系統(tǒng) C15151-01 是一種利用光譜干涉法的非接觸式膜厚測量系統(tǒng)。這種大功率、高度穩(wěn)定的白光源支持**測量薄膜厚度，即使是超薄薄膜也是如此。此外，光源的使用壽命為 10,000 小時，適用于在線操作。

特點

?用于超薄薄膜測量（玻璃：1 nm 起，硅：0.43 nm 起）

?高精度（測量可再現(xiàn)性：≤ 0.1 nm）*測量 2 nm 厚度的二氧化硅 (SiO2) 時

?使用大功率白光源

?使用壽命長（維護周期：1 年以上）

?支持 PLC 連接

?縮短周期時間（高達 200 Hz）

?涵蓋寬波長范圍（200 nm 至 790 nm）

?軟件中添加了簡化的測量

?能夠同時進行表面分析

?在距離存在波動的條件下提高測量穩(wěn)定性

?分析光學常數(shù)（n、k）

產(chǎn)品編號	C15151-01
測量薄膜厚度范圍	玻璃1：1 nm 至 20 μm 硅2：0.43 nm*3 至 8.6 μm
測量可再現(xiàn)性	玻璃 45：0.1 nm 硅*6：1 nm
測量精度5 7	±0.4 %
光源	大功率白光源
測量波長范圍	200 nm 至 790 nm
光斑尺寸*5	約 Φ1 mm
工作距離 *5	10 mm 起
可測量層數(shù)	*多 10 層
分析	FFT 分析、擬合分析、光學常數(shù)分析
*短的節(jié)拍時間	< 2 ms/point
外部通信接口	以太網(wǎng)
輸出信號	模擬輸出：0 V 至 10 V/高阻抗 3 通道（*多 3 層）警報輸出：TTL/高阻抗單通道警告輸出：TTL/高阻抗單通道
輸入信號	測量開始信號：TTL/高阻抗單通道
電源電壓	AC100 V 至 AC240 V，50 Hz/60 Hz
功耗	約 130 VA
光導連接器形狀	FC

*1 當以玻璃折射率 1.5 進行轉(zhuǎn)換時。
*2 當以玻璃折射率 3.67 進行轉(zhuǎn)換時。
*3 這是轉(zhuǎn)換為硅折射率的計算值 (3.67)。

*4 測量 2 nm 厚玻璃薄膜時的標準偏差（公差）。

*5 取決于使用的光學系統(tǒng)或物鏡放大率。

*6 測量 30 μm 厚標準具時的標準偏差（容差）。

*7 VLSI 標準測量保證文件中記錄的測量保證范圍。