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PRODUCT CENTER
產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
HAMAMATSU濱松晶圓玻璃薄膜厚度測量儀C13027-12
詳情介紹：
HAMAMATSU濱松晶圓玻璃薄膜厚度測量儀C13027-12
應(yīng)用：高速測量晶圓、玻璃和薄膜的厚度。（測量范圍：玻璃：1 nm 至 20 μm，硅：0.43 nm 至 8.6 μm）
Optical NanoGauge 膜厚測量系統(tǒng) C13027 是一種利用光譜干涉法的非接觸式膜厚測量系統(tǒng)。C13027 不僅支持 PLC 連接，而且比其他型號更緊湊，易于安裝到設(shè)備中。我們的 Optical Gauge 系列能夠測量低至 10 nm 的極薄薄膜的厚度，并覆蓋從 10 nm 到 100 μm 的寬范圍薄膜厚度。Optical Gauge 系列還可快速測量高達(dá) 200 Hz 的功率，因此是高速生產(chǎn)線測量的理想選擇。
特點
- 支持 PLC 連接
- 縮短周期時間（*高 200 Hz）
- 能夠測量 10 nm 薄膜
- 同時測量厚度和顏色
- 縮小尺寸（與 C12562 相比，其安裝面積減少 30%）
- 涵蓋寬波長范圍（400 nm 至 1100 nm）
- 軟件中添加了簡化的測量
- 能夠同時進(jìn)行表面分析
- **測量起伏不定的薄膜
- 分析光學(xué)常數(shù)（n、k）
- 映射功能
詳細(xì)參數(shù)
●輸出信號
模擬輸出：0 V 至 10 V/高阻抗 3 通道（*多 3 層）
警報輸出：TTL/高阻抗單通道
警告輸出：TTL/高阻抗單通道
●輸入信號
測量開始信號：TTL/高阻抗單通道
*1 當(dāng)以玻璃折射率 1.5 進(jìn)行轉(zhuǎn)換時。
*2 測量 400 nm 厚玻璃膜時的標(biāo)準(zhǔn)偏差（公差）。
*3 取決于使用的光學(xué)系統(tǒng)或物鏡放大率。
*4 VLSI 標(biāo)準(zhǔn)測量保證文件中記錄的測量保證范圍。
*5 *短曝光時間。
模擬輸出：0 V 至 10 V/高阻抗 3 通道（*多 3 層）
警報輸出：TTL/高阻抗單通道
警告輸出：TTL/高阻抗單通道
●輸入信號
測量開始信號：TTL/高阻抗單通道
*1 當(dāng)以玻璃折射率 1.5 進(jìn)行轉(zhuǎn)換時。
*2 測量 400 nm 厚玻璃膜時的標(biāo)準(zhǔn)偏差（公差）。
*3 取決于使用的光學(xué)系統(tǒng)或物鏡放大率。
*4 VLSI 標(biāo)準(zhǔn)測量保證文件中記錄的測量保證范圍。
*5 *短曝光時間。
尺寸
