產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
HAMAMATSU濱松晶圓玻璃薄膜厚度測(cè)量?jī)xC10323-02
詳情介紹：
HAMAMATSU濱松晶圓玻璃薄膜厚度測(cè)量?jī)xC10323-02
應(yīng)用：高速測(cè)量晶圓、玻璃和薄膜的厚度。（測(cè)量范圍：玻璃：1 nm 至 20 μm，硅：0.43 nm 至 8.6 μm）
Optical NanoGauge 膜厚測(cè)量系統(tǒng) C10323 是一種顯微膜厚測(cè)量系統(tǒng)。如果物體具有會(huì)產(chǎn)生高水平散射光的不規(guī)則表面，則無(wú)法在宏觀層面上進(jìn)行測(cè)量。對(duì)于這些類型的對(duì)象，測(cè)量小面積會(huì)減少散射光，從而可以進(jìn)行測(cè)量。
C10323-02 的電源電壓為 AC100 V 至 AC120 V。
特點(diǎn)
- 微視野厚度測(cè)量
- 高速度和高精度
- 分析光學(xué)常數(shù)（n、k）
- 提供外部控制
詳細(xì)參數(shù)
①當(dāng)以玻璃折射率 1.5 進(jìn)行轉(zhuǎn)換時(shí)。
② 測(cè)量 400 nm 厚玻璃膜時(shí)的標(biāo)準(zhǔn)偏差（容差）。
③ 取決于使用的光學(xué)系統(tǒng)或物鏡放大率。
④ VLSI 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量保證文件中記錄的測(cè)量保證范圍。
② 測(cè)量 400 nm 厚玻璃膜時(shí)的標(biāo)準(zhǔn)偏差（容差）。
③ 取決于使用的光學(xué)系統(tǒng)或物鏡放大率。
④ VLSI 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量保證文件中記錄的測(cè)量保證范圍。
尺寸
