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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：晶圓玻璃薄膜厚度測量儀

  • 產(chǎn)品型號：C11011-02W
  • 產(chǎn)品廠商：其它品牌
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
HAMAMATSU濱松晶圓玻璃薄膜厚度測量儀C11011-02W
詳情介紹：

HAMAMATSU濱松晶圓玻璃薄膜厚度測量儀C11011-02W

應用：高速測量晶圓、玻璃和薄膜的厚度。（測量范圍：玻璃：1 nm 至 20 μm，硅：0.43 nm 至 8.6 μm）

Optical MicroGauge 膜厚測量系統(tǒng) C11011 是一種利用激光干涉法的薄膜膜厚測量系統(tǒng)?？稍?60 Hz 時進行高速測量，因此也可用于工廠內(nèi)的線陣測量。與可選的映射系統(tǒng)結(jié)合使用，以便進行原型厚度分布測量。它可用于從監(jiān)控制造過程到質(zhì)量控制的各種用途。

C11011-02W 可測量 25 μm 至 2.9 mm 以及 10 μm 至 1.2 mm 的玻璃。

特點

  • 通過紅外光度法測量非透明（白色）樣品
  • 測量薄膜厚度范圍（玻璃）：25 μm～2.9 mm
  • 60 Hz 高速測量
  • 可測量層數(shù)：1 層
  • 測量帶有圖案或保護膜的晶圓
  • 長工作距離
  • 映射功能
  • 提供外部控制

詳細參數(shù)

型號 C11011-02W
可測量的薄膜厚度范圍（玻璃） 25 μm 至 2.9 mm*1
可測量的薄膜厚度范圍（硅） 10 μm 至 1.2 mm*2
測量重現(xiàn)性（硅） 100 nm*3
測量精度（硅） < 500 μm: ±0.5 μm, > 500 μm：±0.1%*3
光源 紅外 LD (1300 nm)
光斑尺寸 約 Φ60 μm*4
工作距離 155 mm*4
可測量層數(shù) *多 1 層
分析 峰值檢測
測量時間 22.2 ms/point*5
外部控制功能 RS-232C，PIPE
接口 USB 2.0（主機 - 計算機）
電源 AC100 V 至 AC240 V，50 Hz/60 Hz
功耗 約 50 VA

*1：玻璃折射率當量。
*2：硅折射率當量。
*3：測量硅時的標準偏差。
*4：提供工作距離為 1000 mm 的可選型號。 
*5：*短曝光時間。

尺寸